12月7日消息,拒絕膠前不久日本斷供光刻膠的日本消息引發關注,雖然日本方面否認了傳聞,卡脖但在光刻膠領域,韓國海力化日本公司確實卡了大部分半導體公司的國產光刻脖子。
尤其是拒絕膠在先進的EUV光刻膠領域,目前主要掌握在日本JSR、日本信越化學、卡脖東京應化TOK等公司手中,韓國海力化前幾年日本與韓國爆發爭端之后,國產光刻日本就停止過對韓出口光刻膠等三種關鍵材料。拒絕膠
這幾年中韓國也一直在加大對半導體核心技術與材料的日本國產化,之前有說法稱韓國已經解決了EUV光刻膠,卡脖實際上并不是韓國海力化,所謂的國產光刻解決只是日本公司為了繞過政策限制,對韓出口從本土改為海外公司供貨而已,韓國三星、SK海力士等公司依然依賴日本公司EUV光刻膠供應。
相比三星,SK海力士主要是生產存儲芯片,此前對EUV光刻膠需求不算高,但是隨著工藝的提升,內存芯片也要大量使用EUV光刻工藝,為此他們也聯合韓國的東進世美肯公司合作開發EUV光刻膠。
雙方合作的產品目標不僅是取代日本公司的EUV光刻膠,而且還要在性能上超越日本產品,特別是光敏性,以便提高生產效率。
光刻膠的光敏性越強,所需的曝光時間就會越短,因此生產效率會更高,即便是同樣的EUV光刻機,先進EUV光刻膠生產能力也是不同的。
隨著內存芯片不斷逼近10nm甚至在10nm以下,所需的EUV光刻層數也在不斷增加,第七代1d工藝已經需要7層EUV了,未來只會繼續增加。


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